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发明专利
已授权
一种柔性TiO
2
阻变存储器阵列的制备方法
📄 申请号:CN201710564097.2
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-07-12
公开号
CN107170883A
公开日
2017-09-15
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L45_00
IPC 分类号
H01L45_00
技术画像
所属领域
阻变存储器
阻变存储器
二氧化钛薄膜
柔性电子技术
应用场景
柔性电子设备, 可穿戴设备, 物联网存储, 嵌入式存储芯片, 数据存储
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摘要
本发明涉及一种柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法,该方法如下:将双(乙酰丙酮基)乙氧基异丙氧基钛酸酯、乙酰丙酮按照1:1的摩尔比例溶解在乙二醇甲醚混合,获得钛离子浓度为0.5mol/L的前驱溶液。将该溶液通过提拉法涂敷在柔性的PET/ITO基底上,经过365nm紫外辐照,乙醇溶洗获得TiO2凝胶膜微阵列后,进一步在150℃采用254nm和185nm的紫外辐照3‑5小时,进一步通过Pt电极制备,既可获得具有良好保持特性和循环特性的柔性PET/ITO/TiO2存储器阵列。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20190625
✅ 授权
20171017
?? 实质审查的生效 :
20170915
📄 公开
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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未申报
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