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一种柔性TiO₂阻变存储器阵列的制备方法

Name: 一种柔性TiO 2 阻变存储器阵列的制备方法
Brand: 陕西科技大学
SKU: 2017105640972
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710564097.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-07-12

公开号

CN107170883A

公开日

2017-09-15

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L45_00

IPC 分类号

H01L45_00

技术画像

所属领域

阻变存储器阻变存储器二氧化钛薄膜柔性电子技术

应用场景

柔性电子设备, 可穿戴设备, 物联网存储, 嵌入式存储芯片, 数据存储

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摘要

本发明涉及一种柔性TiO2阻变存储器阵列的制备方法，该方法如下：将双(乙酰丙酮基)乙氧基异丙氧基钛酸酯、乙酰丙酮按照1：1的摩尔比例溶解在乙二醇甲醚混合，获得钛离子浓度为0.5mol/L的前驱溶液。将该溶液通过提拉法涂敷在柔性的PET/ITO基底上，经过365nm紫外辐照，乙醇溶洗获得TiO2凝胶膜微阵列后，进一步在150℃采用254nm和185nm的紫外辐照3‑5小时，进一步通过Pt电极制备，既可获得具有良好保持特性和循环特性的柔性PET/ITO/TiO2存储器阵列。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190625

✅ 授权

20171017

?? 实质审查的生效：

20170915

📄 公开

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