发明专利已授权

一种透明薄膜厚度测量系统以及方法

📄 申请号：CN201711053841.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-10-31

公开号

CN107843200B

公开日

2020-05-22

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06

技术画像

所属领域

测量系统光学测量膜厚检测光电检测测量系统

应用场景

薄膜制造, 光学元件检测, 显示面板生产, 半导体制造, 涂层检测

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摘要

本发明涉及光电技术领域，尤其是涉及一种透明薄膜厚度测量系统以及方法。该测量系统包括：信号发送镜筒和信号接收镜筒；所述信号发送镜筒自右向左依次设置有色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件，在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上设置有白光光源，在所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒，所述信号接收镜筒自下而上依次设置有色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器。本发明的这种基于不同波长光的汇聚的离散性和色散性结合数字微镜技术实现透明薄膜的厚度快速高精度测量传感技术，有效利用了光波长稳定性，消除了环境的影响，有效提高了测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200522

✅ 授权

20180420

?? 实质审查的生效：

20180327

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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