发明专利已授权

两级压电驱动微纳定位平台

📄 申请号：CN201711091282.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-11-08

公开号

CN107622786A

公开日

2018-01-23

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G12B5_00

IPC 分类号

G12B5_00 , H02N2_00 ,

技术画像

所属领域

定位平台压电驱动技术微纳定位技术精密运动控制定位平台

应用场景

精密加工, 半导体制造, 光学对准, 微纳操作, 生物医学工程

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摘要

本发明公开了一种两级压电驱动微纳定位平台，包括基座、一级运动平台、一级运动平台柔顺机构、二级运动平台、二级运动平台运动导向机构和压电陶瓷驱动器；所述一级运动平台通过所述一级运动平台柔顺机构装配于所述基座中，所述一级运动平台柔顺机构包括一级运动平台位移放大机构和一级运动平台运动导向机构；所述二级运动平台通过所述二级运动平台运动导向机构装配于一级运动平台中；所述压电陶瓷驱动器包括一级运动平台压电陶瓷驱动器和二级运动平台压电陶瓷驱动器，所述一级运动平台压电陶瓷驱动器和所述二级运动平台压电陶瓷驱动器分别驱动所述一级运动平台和所述二级运动平台。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

红外非线性光学晶体Ba10Zn7M6Q26及其制备方法与用途

当前第 / 件

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