发明专利已授权

亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法

📄 申请号：CN201811067021.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-09-13

申请人

西华大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01M11_00

IPC 分类号

G01M11_00

技术画像

所属领域

测量装置光学测量微纳光学光学成像器件测量装置

应用场景

光学器件性能检测, 精密光学测量, 超分辨成像, 半导体检测, 光学系统装配

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摘要

本发明公开了一种亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法，装置包括激光器、扩束准直系统、亚波长光学成像器件及纳米台阶高度标准样块；纳米台阶高度标准样块与一个带动其在垂直方向上下移动的动力装置连接，动力装置与计算机控制系统连接；纳米台阶高度标准样块表面涂设有光刻胶，且纳米台阶高度标准样块由若干在同一竖直面上等间距排布的台阶组成；其中一个台阶为中间台阶，其与亚波长光学成像器件之间的间距为亚波长光学成像器件的焦距设计值；所有台阶中，自中间台阶向上，台阶高度逐渐增加，对应的焦距值减小，自中间台阶向下，台阶高度逐渐降低，对应的焦距值增加；激光器的波长等于亚波长光学成像器件设计时的入射光源波长。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种超声波电机伺服控制系统滑模控制方法

当前第 / 件

一种机器人行走参数优化方法、计算机设备以及可读存储介质

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