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发明专利
已授权
一种三维解耦型扫描测头
📄 申请号:CN201811452722.5
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-11-30
公开号
CN109373878B
公开日
2020-08-04
申请人
陕西蓝海秦工科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B7_00
IPC 分类号
G01B7_00
,
G01B7_02
,
技术画像
所属领域
精密测量技术
精密测量技术
坐标测量机部件
三维扫描技术
应用场景
工业测量, 逆向工程, 质量检测, 三维建模, 智能制造
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摘要
本发明涉及精密测量仪器技术领域,具体涉及一种三维解耦型扫描测头。本发明包括XY向测量机构、Z向测量机构、测头外壳、测杆、弹簧平衡机构,该测头通过三组相互垂直安装的膜片导向机构,构成X向、Y向、Z向运动导轨,且三个方向上分别安装有一个电感传感器用来测量测针在X、Y、Z三个方向的微位移。本发明的测头在三个方向上相互解耦,结构紧凑,体积小,测量精度高,灵敏度高,长期使用稳定性好,且可以实现一维、二维和三维扫描测量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
苄基氯类化合物和硫酚在无金属条件下一步反应制备亚砜化合物的方法
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一种含硫腐蚀工况下铝基耐磨材料及其制备方法
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