发明专利已授权

一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法

📄 申请号：CN201910964596.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-10-11

公开号

CN110686614B

公开日

2021-07-02

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_22

IPC 分类号

G01B11_22 , G01N21_88 ,

技术画像

所属领域

检测方法光学检测亚表面缺陷检测精密测量检测装置光学元件检测方法

应用场景

精密光学元件制造, 光学加工质量检测, 半导体制造, 激光器件制造

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摘要

本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法，由光源调制组件、缺陷深度检测组件、二维移动平台以及计算机控制平台组成，所述光源调制组件的光路垂直于二维移动平台布置，从上至下依次包括紫外激光器、窄带滤光片，光束整形组件；缺陷检测组件的光路与光源调制组件的光路成夹角布置，依次包括窄带滤光片，显微镜头和CCD探测器；计算机控制平台分别与CCD探测器和二维移动平台相连。本发明的装置和方法克服了现有技术存在的检测效率极低、存在严重效益低、二次损伤和定位困难的缺点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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2025109489350 · 成都农业科技职业学院

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