发明专利已授权

一种双波长调频连续波激光干涉高精度绝对测量方法

📄 申请号：CN201911060711.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-11-01

公开号

CN111288887B

公开日

2021-04-06

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02 , G01B11_02 ,

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量调频连续波技术绝对距离测量

应用场景

精密制造, 工业计量, 航空航天, 半导体制造, 科研实验

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摘要

本发明涉及光学调频连续波干涉测量技术领域，具体涉及一种实现调频连续波激光干涉高精度绝对测量方法。本发明提供的方法是：利用两个中心波长不同的调频连续波激光干涉仪同时检测同一个光程差及其变化，根据两个干涉信号的干涉级尾数，通过计算得出其中一个干涉仪干涉级变化量的整数和尾数，从而得出对应光程差变化量的绝对值。本发明的优点是：可以实现光程差变化量的高精度绝对测量，根据此方法制备的干涉仪结构简单、响应速度快、测量精度高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210406

✅ 授权

20200710

?? 实质审查的生效：

20200616

📄 公开

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