发明专利已授权

光谱共焦扫描共光路数字全息测量系统及测量方法

📄 申请号：CN202110772709.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-07-08

公开号

CN113418469A

公开日

2021-09-21

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24

技术画像

所属领域

测量系统光学测量数字全息光谱共焦测量系统

应用场景

精密测量, 三维形貌测量, 工业检测, 生物医学成像, 材料表面检测

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摘要

本发明为一种光谱共焦扫描共光路数字全息测量系统及测量方法，其克服了现有技术中存在的仅适用于待测物体表面反射或透射形成的相位变化测量，无法实现透明物体各分层界面微观形貌的高精度、非接触、同步三维形貌测量。本发明包括依次设置的多光谱光源、显微物镜、透镜、分光镜一、聚焦色散透镜和待测物体，待测物体位于聚焦色散元件的聚焦范围内，分光镜一后方设置有分光镜二，分光镜二前方依次设置有消色差显微物镜和光纤光谱仪，分光镜二后方设置有双焦点衍射元件，双焦点衍射元件后方设置有图像传感器，图像传感器置于双焦点衍射元件后小焦距以内，光纤光谱仪和图像传感器分别与计算机连接。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230131

✅ 授权

20211012

?? 实质审查的生效：

20210921

📄 公开

光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法

当前第 / 件

一种可智能压力控制的页岩岩心渗吸测定装置及方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_24)

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