发明专利 已授权

光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法

📄 申请号:CN202110772728.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2021-07-08
公开号
CN113418470B
公开日
2023-01-31
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密测量, 三维形貌测量, 生物样本成像, 材料检测, 工业检测

摘要

本发明为一种光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法,其克服了现有技术中存在的针对待测物体的上、下表面及内部分层的微观结构,无法实现三维结构的快速测量,实现透明物体各分层界面微观形貌的高精度、非接触、同步三维形貌测量。本发明包括测量系统本体,测量系统本体包括依次设置的多光谱光源、显微物镜、透镜、分光镜一、聚焦色散透镜和待测物体,分光镜一后方设置有分光镜二,分光镜二前方依次设置有消色差显微物镜和光纤光谱仪,分光镜二后方设置有平面平晶,平面平晶前方依次设置有会聚透镜和滤波器,滤波器设置在平面平晶前表面反射光的会聚焦点处,滤波器前方设置有图像传感器,光纤光谱仪和图像传感器分别与计算机连接。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:25 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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