发明专利已授权

一种基于随机三步移相干涉的面形重构方法

📄 申请号：CN202110778021.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-07-09

公开号

CN113390365A

公开日

2021-09-14

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_25

IPC 分类号

G01B11_25

技术画像

所属领域

光学干涉测量光学干涉测量相位恢复面形重构

应用场景

光学元件检测, 精密表面测量, 半导体检测, 高端装备制造, 科学研究

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摘要

本发明属于光学检测技术领域，具体涉及一种基于随机三步移相干涉的面形重构方法。为解决现有的两步相移相位解调技术受背景光强获取精度影响的问题，本发明所提供的技术方案是：随机获取三步相移干涉图，通过基于二维多项式与最小二乘法相结合算法对这三幅干涉条纹图求解出相移量1和2，从而求得包裹相位；对求得的包裹相位值进行相位解包，并利用Zernike波面拟合算法对连续相位进行拟合运算，得到待测面的面形信息。本发明通过干涉条纹图间的差运算，从而正确去除了背景光强，提高了相位计算精度，并且具有面形恢复的准确性以及较好的鲁棒性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221206

✅ 授权

20211001

?? 实质审查的生效：

20210914

📄 公开

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