发明专利 已授权

一种氧化铝微米阶梯与纳米孔复合结构的制备方法

📄 申请号:CN202110949310.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2021-08-18
公开号
CN113802163B
公开日
2023-02-17
申请人
陕西师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

纳米压印模板, 传感器, 催化载体, 光学器件, 生物医学

摘要

本发明提供了一种氧化铝微米阶梯与纳米孔复合结构的制备方法包括如下步骤:步骤一、在铝表面形成氧化铝多孔膜;步骤二、在多孔氧化铝结构表面覆盖微掩膜;步骤三、喷覆高聚物;步骤四、去掉微掩膜,进行氧化;步骤五、重复步骤二~步骤四;步骤六、剥蚀掉氧化铝膜,形成具有微米阶梯与有序六角凹坑的复合结构;步骤七、根据预设的纳米结构再次进行温和氧化和扩孔,得到微米阶梯与氧化铝纳米阵列结构;该氧化铝微米阶梯与纳米孔复合结构的制备方法,简单易行,且无需任何昂贵设备,该方法重现性好,周期短,能够根据生产规模的需求而调整,因此具有很好的工业应用前景。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20230217
✅ 授权
20220104
?? 实质审查的生效 :
20211217
📄 公开

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