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发明专利
已授权
一种应用于扫描探针显微镜的传感器
📄 申请号:CN201810292818.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-03-30
公开号
CN108693383A
公开日
2018-10-23
申请人
三明学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01Q30_00
IPC 分类号
G01Q30_00
技术画像
所属领域
传感器技术
传感器技术
扫描探针显微镜
纳米检测技术
应用场景
纳米科学研究, 半导体检测, 材料分析, 表面形貌测量, 生物医学成像
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摘要
本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器,包含:底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针;第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上,探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上;第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同,且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点,且本发明的传感器具有多频原位激发/检测功能,因此具有更高的灵敏度和分辨率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种应用于扫描探针显微镜的传感器
当前第 / 件
以9-醛基-10-嘧蒽腙为配体的铜(II)配合物及其合成方法和应用
同领域国内专利 · IPC: (G01Q30_00)
G01Q30_00
G01Q30_02
G01Q30_20
覆盖
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