发明专利 已授权

一种应用于扫描探针显微镜的传感器

📄 申请号:CN201810292818.3 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-03-30
公开号
CN108693383A
公开日
2018-10-23
申请人
三明学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

纳米科学研究, 半导体检测, 材料分析, 表面形貌测量, 生物医学成像

摘要

本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器,包含:底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针;第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上,探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上;第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同,且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点,且本发明的传感器具有多频原位激发/检测功能,因此具有更高的灵敏度和分辨率。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01Q30_00)

G01Q30_00 G01Q30_02 G01Q30_20 覆盖3个领域
议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:38 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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