发明专利已授权

一种基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构

📄 申请号：CN201910197612.7 📄 发布日：2026/07/09

著录项目信息

申请日

2019-03-15

公开号

CN109949856B

公开日

2021-01-29

申请人

天津理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G12B5_00

IPC 分类号

G12B5_00

技术画像

所属领域

柔性铰链柔性铰链并联机构精密运动控制

应用场景

精密定位, 半导体制造, 光学精密调整, 微装配, 精密测量

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摘要

本发明公开了一种基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其中包括有第一原始驱动块、输出架、第二原始驱动块、第三原始驱动块、固定面板、安装面板；该装置由压电系统驱动，其中压电驱动系统包括信号发生器、功率放大器和压电陶瓷几部分；信号发生器生成信号源，通过功率放大器将信号发生器的输出信号放大，从而促动压电陶瓷产生直线位移，此外压电陶瓷推动柔性铰链使得装置实现各项位移；第一原始驱动块、第二原始驱动块、第三原始驱动块均由直梁型铰链所构成的平行四边形结构垂直排布组成。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230704

?? 专利权的转移：

20210129

✅ 授权

20190723

?? 实质审查的生效：

20190628

📄 公开

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