发明专利已授权

一种基于热增稠效应的超精密抛光方法

📄 申请号：CN202011247135.X 📄 发布日：2026/06/29

著录项目信息

申请日

2020-11-10

公开号

CN112497044B

公开日

2025-07-25

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B31_112

IPC 分类号

B24B31_112 , C09G1_02 ,

技术画像

所属领域

超精密抛光超精密抛光精密加工热增稠功能材料

应用场景

半导体芯片制造, 光学元件加工, 精密模具制造, 航空航天零部件加工, 医疗器械表面处理

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摘要

一种基于热增稠效应的超精密抛光方法，在具有热增稠效应的流体中添加磨粒，配制成热增稠抛光液；抛光过程中，工件与所述热增稠抛光液发生相对运动，摩擦产生热量。所述热增稠抛光液中的具有热增稠效应的流体受热，不同分子的具有下临界溶解温度的侧链会互相结合形成多分子聚合物，产生热增稠现象，所述热增稠抛光液粘度增加。磨粒被包裹在多分子聚合物中，具有热增稠效应的流体对磨粒的把持能力增加，形成柔性“固着磨具”，通过相对运动使磨粒对工件表面产生机械去除作用，实现抛光加工。本发明的热流变效应的抛光液能在不同曲率的复杂曲面上形成柔性“固着磨具”，实现复杂曲面超精密加工，具有极大的经济社会效应。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种节水型滴定管清洗装置

当前第 / 件

三相逆变器LCL滤波器的前馈解耦方法、装置及存储介质

同领域国内专利 · IPC: (B24B31_112)

B24B31_00 B24B31_02 B24B31_027 B24B31_03 B24B31_033 B24B31_06 B24B31_073 B24B31_10 B24B31_112 B24B31_116 B24B31_12 B24B31_16 覆盖12个领域

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