发明专利已授权

基于电光调制的相移数字全息测量装置与方法

📄 申请号：CN202111412671.5 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2021-11-25

公开号

CN115289961A

公开日

2022-11-04

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_021

IPC 分类号

G01B9_021 , G02F1_01 , G03H1_00 , G03H1_04 , G03H1_12 ,

技术画像

所属领域

数字全息成像数字全息成像光学干涉测量电光调制技术

应用场景

工业无损检测, 精密光学测量, 生物医学显微成像, 微纳结构形貌测量, 流场与应力场测量

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摘要

本发明公开了一种基于电光调制的相移数字全息测量装置与方法。装置由相移数字全息干涉光路和正交探测单频干涉光路两个部分组成，电光相位调制器放置在两套干涉光路的公共臂，对电光相位调制器施加直流电压对两套干涉光路进行相同的相位调制，利用正交探测单频干涉光路对相位调制量即相移量进行精确测量和控制，实现多幅全息干涉图的精确相移，提高数字全息测量精度。本发明无需机械移相，相移速度快、测量效率高、相移精度高，可广泛应用于相移干涉测量技术领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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¥27000.0

2023111203418 · 哈尔滨理工大学

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