发明专利已授权

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法

📄 申请号：CN201910681897.1 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2019-07-26

公开号

CN110411335A

公开日

2019-11-05

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02 , G01B11_02 ,

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量精密位移测量光学测量技术

应用场景

精密制造, 半导体设备, 微纳加工, 机床精度检测, 科研计量

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摘要

本发明公开了一种差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法。单频激光器输出的光束经偏振片转换为45°线偏振光，射向由分光镜、电光相位调制器、二分之一玻片、三个角锥棱镜、两个偏振分光镜组成的两套正弦相位调制干涉仪，形成测量和参考干涉信号，两个光电探测器接收；两套干涉仪公共参考臂的电光相位调制器施加高频正弦电压信号，将干涉信号调制为高频交流信号；检测被测对象运动时两路干涉信号的相位变化量之差，得到被测位移。本发明通过正弦相位调制提高了干涉信号的抗干扰能力，采用差动光路消除了参考臂和部分测量臂的温度漂移和环境扰动误差，具有亚纳米级测量精度，适用于高端装备制造与精密测试计量领域的精密位移测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200616

✅ 授权

20191129

?? 实质审查的生效：

20191105

📄 公开

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：36 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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