实用新型已授权

一种半导体生产洁净室的紧固结构

Name: 一种半导体生产洁净室的紧固结构
Brand: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
SKU: 2021224908998
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122490899.8 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2021-10-16

公开号

CN216666959U

公开日

2022-06-03

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M11_04

IPC 分类号

F16M11_04 , F16M11_10 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备洁净室技术紧固结构设计

应用场景

半导体生产, 集成电路制造, 洁净室建设, 电子元器件生产

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摘要

本实用新型属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体生产洁净室的紧固结构，包括第一固定板，所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板，所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板，所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔，所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔，所述连接孔内部安装有连接螺栓。通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用，可以对支撑板进行固定，便于工作人员对支撑底板的使用，通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用，可以对支撑腿进行辅助支撑，可以使支撑腿安装的更加稳定，便于工作人员对支撑腿的使用。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216666959U

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种光刻机的可调支脚座

当前第 / 件

一种焊接转盘

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