实用新型已授权

一种光刻机的可调支脚座

Name: 一种光刻机的可调支脚座
Brand: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
SKU: 2021224908983
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122490898.3 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2021-10-16

公开号

CN216666941U

公开日

2022-06-03

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M7_00

IPC 分类号

F16M7_00

技术画像

所属领域

精密机械结构精密机械结构支撑调节机构半导体制造设备部件

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆光刻, 精密设备安装

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摘要

本实用新型属于支脚座技术领域，尤其为一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑杆，所述安装槽底部铰接安装有支撑底板，所述支撑底板顶端一侧开设有转动槽，所述固定套管内壁一侧中部开设有限位螺孔。通过使用安装槽，可以对支撑杆和支撑底板进行收纳，通过使用固定套管，可以对支撑杆和支撑底板的位置进行调节，通过使用限位螺杆，可以对固定套管进行固定，通过使用支撑底板，可以增大支脚座本体的支撑面积，可以使支脚座本体安装的更加稳定，便于支脚座本体的使用。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216666941U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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F16M7_00 覆盖1个领域

议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：79 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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