发明专利已授权

一种微电子磁力检测装置

📄 申请号：CN202410112593.4 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2024-01-26

公开号

CN117970195A

公开日

2024-05-03

申请人

巢湖学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R33_02

IPC 分类号

G01R33_02 , G01R33_12 ,

技术画像

所属领域

检测装置磁力检测微电子检测传感器技术检测装置

应用场景

半导体制造, 芯片检测, 微电子器件测试, 无损检测

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摘要

本发明属于微电子磁力检测技术领域，具体的说是一种微电子磁力检测装置，包括冷却架，冷却架下方对称设置两组支撑架，冷却架两端均连接有通气管，冷却架上开设有用于放置磁芯的放置槽，冷却架上固定安装有固定架，固定架上转动安装有丝杠，丝杠上设置有检测机构，检测机构包括活动件，活动件螺接丝杠，固定安装在活动件上的磁力显示面板，开设在活动件上的导向孔，活动插接导向孔的活动套，通过旋拧螺杆，可实现对检测探针与磁芯间距的调节，提高了调节检测探针与磁芯间距的速率，其次通过驱动丝杠转动，能够使检测探针自动等距离移动，不仅提高了该装置的自动化率，同时提高检测探针对磁芯的检测效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种无自旋积分曲线式无级变速单元

当前第 / 件

一种C@SnOx(x=0,1,2)@C介孔状纳米中空球结构的制备与应用

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