实用新型已授权

一种单晶硅片退火冷却箱

Name: 一种单晶硅片退火冷却箱
Brand: 金寨嘉悦新能源科技有限公司
SKU: 2020232985667
Availability: InStock

📄 申请号：CN202023298566.7 📄 发布日：2026/06/04

著录项目信息

申请日

2020-12-30

公开号

CN214992015U

公开日

2021-12-03

申请人

金寨嘉悦新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B33_02

IPC 分类号

C30B33_02 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶硅半导体制造设备退火设备硅片热处理单晶硅

应用场景

半导体制造, 晶圆热处理, 集成电路制备, 光伏电池制造

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摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体内开设有冷却槽，冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。本实用新型通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果，通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN214992015U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：91 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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