实用新型已授权

喷淋蚀刻机

📄 申请号：CN202023133716.9 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2020-12-23

公开号

CN214937812U

公开日

2021-11-30

申请人

苏州普汇达电子科技有限公司,顾叶锋

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23F1_08

IPC 分类号

C23F1_08

技术画像

所属领域

湿法蚀刻湿法蚀刻喷淋系统自动化加工设备

应用场景

印制电路板制造, 半导体制造, 金属蚀刻加工, 光伏制造

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摘要

本实用新型公开了喷淋蚀刻机，包括机体、输送装置、喷头、金属板、水泵和储药罐，所述机体的顶部左端设有储药罐，所述储药罐的右端设有水泵，所述水泵的右端设有输出管，所述输出管的内部分布有红外加热管，所述红外加热管的外端连接有TC200加热控制器，所述输出管的底部连接有横管，所述横管的底部连接分布有喷头，所述机体的内部设有输送装置，所述输送装置的外端开设分布有通孔，所述输送装置的顶部设有金属板，所述输送装置的底部设有排液斗，所述排液斗的底部设有排污口，涉及蚀刻机技术领域，喷淋蚀刻金属板，自动化性能高，均匀有效，提高了加工的效率，便于过滤净化后排放，环保性能高，便于控制排放，使用方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电解蚀刻机机架

当前第 / 件

一种电解蚀刻被加工板的上电装置

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C23F1_08 C23F1_10 C23F1_18 C23F1_20 C23F1_28 C23F1_44 C23F1_46 C23F11_00 C23F11_02 C23F11_10 C23F11_14 C23F11_16 C23F13_10 C23F13_18 C23F13_20 C23F13_22 C23F15_00 C23F17_00 覆盖18个领域

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