实用新型 已授权

一种电解蚀刻机机架

📄 申请号:CN202023127860.1 📄 发布日:2026/05/29

著录项目信息

申请日
2020-12-23
公开号
CN215404632U
公开日
2022-01-04
申请人
苏州普汇达电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

金属蚀刻, 精密加工, 半导体制造, 表面处理

摘要

本实用新型公开了一种电解蚀刻机机架,包括设备主体、机架、横梁、固定底板、升降架、平移导轨、滑动轮和升降装置,所述设备主体顶部设置的有机架,所述机架顶部设置的有升降传动箱,所述升降传动箱设置的有驱动电机和固定块,所述升降传动箱顶端设置的有设备开关,所述升降传动箱底部设置的有连接卡座,所述升降传动箱通过连接卡座固定连接横梁,所述机架内部设置的有升价架和升降装置,所述升价架顶端通过升降装置固定连接横梁,所述机架底部设置的有平移导轨和滑动轮,该装置在电解蚀刻时,能够调节上电极的下表面与工件的上表面之间距离,使之保持最佳的电解蚀刻距离,以提高电解蚀刻效率同时便于装卸工件,无论工件的厚薄大小均可使用。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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C25F7_00 覆盖1个领域

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