实用新型已授权

改进的蚀刻机

📄 申请号：CN202023126849.3 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2020-12-23

公开号

CN214937811U

公开日

2021-11-30

申请人

苏州普汇达电子科技有限公司,顾叶锋

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23F1_08

IPC 分类号

C23F1_08 , C02F9_08 , C02F103_16 ,

技术画像

所属领域

蚀刻设备蚀刻设备半导体制造设备等离子体处理设备

应用场景

半导体芯片制造, PCB制造, 微机电系统制造, 金属表面处理, 太阳能电池制造

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摘要

本实用新型公开了改进的蚀刻机，包括机体和净化设备，所述净化设备包括反应桶和传动箱，所述传动箱内部设有化工泵，所述化工泵通过液管分别与机体和反应桶连通，所述反应桶顶端设有反应液注入口，所述反应桶两侧分别设有机箱、冷凝箱和净化箱，所述冷凝箱通过气管与反应桶连通，所述反应桶内部设有搅拌桨和加热器。通过机体与净化设备的结合，对于化学蚀刻后的反应溶液将直接排放至反应桶内，可直接对反应溶液进行处理，本净化设备采用混合、蒸发、冷凝、净化一系列处理，可达到反应溶液处理的最佳效果，有效避免了收集、转移的繁琐流程，同时也避免了转移过程中，化学气体挥发污染环境的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

—种汽车密封件注塑模具装置

当前第 / 件

真空蚀刻机

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