发明专利已授权

基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法

📄 申请号：CN202010850190.1 📄 发布日：2026/05/14

著录项目信息

申请日

2020-08-21

公开号

CN111880251B

公开日

2022-09-16

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_00

IPC 分类号

G02B5_00 , G02B5_18 ,

技术画像

所属领域

表面等离子体激元表面等离子体激元光耦合器微纳光学

应用场景

光通信, 集成光路, 光互连, 光学传感, 数据中心

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摘要

本申请公开了一种基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法，其SPP耦合器当入射光通过介质填充层后进入介质光栅层，通过设置非对称金属光栅结构为倒“L”字型结构或“Z”字型结构，从而使得入射光可以垂直射入衬底，激发SPP，无需倾斜入射激发，可大幅降低外置光路的复杂性；而介质光栅层具有若干个周期性的介质光栅，周期性的介质光栅结构可以实现较高的光耦合效率，且可以较好的将入射光限制于衬底内进行单向传播，从而可以提高光耦合效率与单向比，另外，本实施例的SPP耦合器结构简单，制作难度低，适于批量生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于RCLED的传感器及其制造方法

当前第 / 件

一种基于半导体衬底的高效SPP耦合器及制作方法

同领域国内专利 · IPC: (G02B5_00)

G02B5_00 G02B5_02 G02B5_04 G02B5_08 G02B5_12 G02B5_124 G02B5_126 G02B5_128 G02B5_18 G02B5_20 G02B5_28 G02B5_30 覆盖12个领域

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