发明专利已授权

一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法

📄 申请号：CN201610119459.2 📄 发布日：2026/05/13

著录项目信息

申请日

2016-03-02

公开号

CN105776219A

公开日

2016-07-20

申请人

安徽正丰再生资源有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B31_36

IPC 分类号

C01B31_36 , C01B33_02 , B03D1_018 , B03D101_02 ,

技术画像

所属领域

废液处理废液处理资源回收碳化硅材料

应用场景

半导体制造, 光伏产业, 切削废液回收, 硅片加工

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摘要

本发明公开了一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法，包括如下步骤：取硅片切削废液过滤，酸洗滤饼得到废料；将废料加入水中，升温，搅拌保温，加浮选溶液，搅拌，静置，取上层溶液纯化干燥得到碳化硅；取下层固体纯化干燥得到硅；其中，浮选溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠、松节油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30?36wt％盐酸水溶液、水。本发明操作简单，能耗低，回收得到的碳化硅和硅的纯度高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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