摘要
本实用新型提供了一种氮化炉控制装置及系统。所述氮化炉控制装置包括:控制器;压力传感器和温度控制器,压力传感器和温度控制器设置于氮化炉,压力传感器和温度控制器分别通过RS485总线与控制器连接;流量控制器,流量控制器设置于与氮化炉连通的气体输入管道,流量控制器通过RS485总线与控制器连接;控制器用于接收压力传感器的压力检测信号,向流量控制器传递流量控制信号,以及用于接收温度控制器的温度检测信号,向温度控制器传递温度控制信号。本实用新型的方案通过RS485总线的可靠通讯,可以实时、精准地控制输入氮化炉的气体流量和生产工艺需要的不同温度,从而实现氮化硅制粉过程的自动化控制。