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本发明涉及离子渗氮装置，尤其涉及一种实现工件氮化均温的离子渗氮装置，其包括炉体、炉底盘、多功能活性屏、上传动系统、下传动系统、进气系统、抽气系统，其特征在于，炉体为圆筒形，炉底盘为圆盘形，炉体放置于炉底盘正上方形成炉腔；多功能活性屏垂直悬挂于炉腔内，上传动系统固定于炉体顶部，上传动系统驱动多功能活性屏顺时针转动；下传动系统固定于炉底盘，下传动系统带动工件逆时针转动；进气系统由上传动系统的进气部分和多功能活性屏的进气部分组成；抽气系统由主抽气管和分抽气管组成。本发明设计的离子渗氮装置有效提升进气与抽气的均匀性、提高气体的分解率、稳定阴阳极之间的距离，从而实现工件氮化温度的均一性，保证渗氮层厚度及性能的一致性。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。

本发明涉及一种离子氮化装置，尤其涉及一种渗氮可控的零污染离子氮化装置，其包括炉体、炉底盘、传动系统、可调阴极系统、快速冷却系统、可调阳极系统、零污染气体循环系统；炉体置于炉底盘正上方形成渗氮室；传动系统固定于炉底盘中部；可调阴极系统、快速冷却系统和可调阳极系统置于渗氮室中部；零污染气体循环系统置于炉底盘外下部。本发明解决了传统离子氮化装置的升温慢与降温慢，阴阳极间距不可调，渗氮不可控以及氨气污染的技术问题。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。

一种锆钛合金双辉等离子渗氮的表面强化方法，其包括以下步骤：将原始态锆钛合金进行打磨、抛光、清洗、烘干，置于双辉等离子表面冶金炉中，源极放置相同材质经过打磨的锆钛合金；抽真空后充入氮气；炉内气压90～130Pa，工件极电压调整至200～300V，保持10min，将工件极电压调整至600～650V，源极电压调整至900～950V，进行双辉等离子渗氮，使温度升至750～850℃，双辉等离子渗氮时间为5h，渗氮完成后随炉冷却。本发明通过加入相同材质的辅助源极，能够节约工件的升温时间，并能提高氮气的电离率，与离子渗氮相比较渗氮效率得到显著提高，同时提高了锆钛合金的表面硬度和耐磨性。