发明专利已授权

一种改进式白光干涉仪及其消除扫描误差的方法

📄 申请号：CN202410341958.0 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2024-03-25

公开号

CN117928371A

公开日

2024-04-26

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02056

IPC 分类号

G01B9_02056 , G01B11_24 , G01B11_30 ,

技术画像

所属领域

光学精密测量光学精密测量干涉测量技术扫描控制与误差补偿

应用场景

工业精密测量, 表面形貌检测, 半导体晶圆检测, 光学元件检测, 精密制造质量控制

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摘要

本发明涉及白光干涉仪领域，公开了一种改进式白光干涉仪，包括光源、参考单元、反射单元、分束单元和采集单元，通过在普通白光干涉仪中加入分光棱镜、带通滤波器和光电二极管，采集到具有更好的空间相干性、时间相干性的单色光干涉信号，成本较低，结构简单容易实现；本发明还公开了一种改进式白光干涉仪消除扫描误差的方法，通过处理光电二极管得到的具有相同相位分布的单色光信号来修正白光干涉信号，消除由参考臂的非匀速运动和环境振动引入的相位误差，用以提高白光干涉测量系统在复杂环境中测量精度和重复性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种联合信源信道编码基础矩阵的构造方法、设备和介质

当前第 / 件

一种橡胶模板的制备方法、生态海工混凝土及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02056)

G01B9_02 G01B9_02001 G01B9_02017 G01B9_02055 G01B9_02056 G01B9_02091 G01B9_021 覆盖7个领域

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