发明专利已授权

一种原子力显微镜探针针尖的修锐方法

📄 申请号：CN201910940906.4 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2019-09-30

公开号

CN110531121A

公开日

2019-12-03

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q60_38

IPC 分类号

G01Q60_38

技术画像

所属领域

原子力显微镜探针原子力显微镜探针纳米加工探针制备工艺

应用场景

半导体检测, 材料表面分析, 纳米科学研究, 精密测量, 光学与精密仪器制造

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摘要

本发明公开一种原子力显微镜探针针尖的修锐方法，涉及精密工程技术领域，包括将配置好的溶液滴在原子力显微镜工作台上的载玻片上以在载玻片上形成液滴；配置好的溶液的溶质为金刚石粉末；用配置好的溶液浸润待磨探针针尖；将原子力显微镜工作模式设置为液下轻敲模式，控制待磨探针逼近载玻片表面直至待磨探针悬臂梁完全浸没于载玻片表面上的液滴中；设置探针振动参数、探针扫描参数以及修锐时间，开始待磨探针针尖修锐；评定修锐后的探针针尖，完成修锐。本发明在原子力显微镜液下轻敲模式，通过自激震荡的探针针尖与溶液中金刚石颗粒的磨削作用来修锐探针针尖，此方法简单有效，易于实施。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

全平面太赫兹复合应变Si/SiGe异质结双极晶体管及制备方法

当前第 / 件

基于多智能体的微电源分散协调控制方法

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