发明专利已授权

激光-紫外光-微波多能场耦合超精密加工系统与方法

📄 申请号：CN202410447047.6 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2024-04-15

公开号

CN118268871A

公开日

2024-07-02

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23P23_00

IPC 分类号

B23P23_00

技术画像

所属领域

超精密加工超精密加工激光加工复合加工技术

应用场景

精密制造, 半导体加工, 微纳加工, 航空航天零部件加工, 模具制造

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摘要

本发明涉及一种激光‑紫外光‑微波多能场耦合超精密加工系统及方法，包括数控机床，数控机床的动力系统与高速气浮主轴连接，所述高速气浮主轴与回转工作台连接，回转工作台连接有工件装夹件，数控机床的床身上设置有移动机构，移动机构可拆卸地连接有加工单元，所述加工单元有激光加工单元、紫外光加工单元、微波加工单元、车削加工单元和磨削加工单元，可复合成激光‑紫外光‑磨削加工系统及激光‑微波‑车削加工系统，采用本发明的多能场耦合加工系统可同时实现硬脆光电材料和软脆光电材料复杂形面和微结构的经济、高效、近无损伤超精密加工。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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