发明专利已授权

一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统及检测方法

📄 申请号：CN202110097632.4 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-01-25

公开号

CN112857264B

公开日

2025-03-11

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_25

IPC 分类号

G01B11_25 , G01B9_04 ,

技术画像

所属领域

测量系统光学测量共聚焦显微技术精密检测测量系统

应用场景

工业检测, 精密测量, 表面形貌测量, 半导体检测, 微纳制造

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摘要

本发明涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统和检测方法适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种松香基钙盐超分子水凝胶、其制备方法及其应用

当前第 / 件

基于图像处理的彩色共聚焦并行测量三维形貌还原方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_25)

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