发明专利已授权

基于频域振幅和相位迭代的白光干涉信号修正方法及装置

📄 申请号：CN202510013018.3 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-01-06

公开号

CN119394162B

公开日

2025-04-11

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02055

IPC 分类号

G01B9_02055 , G01B11_24 , G01B9_02 ,

技术画像

所属领域

白光干涉测量白光干涉测量信号处理光学精密测量

应用场景

表面形貌测量, 薄膜厚度测量, 精密仪器, 工业光学检测

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摘要

本发明涉及基于频域振幅和相位迭代的白光干涉信号修正方法及装置，涉及光学测量技术领域，方法包括：采集白光干涉信号并进行傅里叶变换，获得频域相位分布并解包裹；通过线性拟合得到线性相位，与待处理相位相减提取非线性相位；移除绝对值最大的非线性相位对应的采样点，使用线性插值填补该点，生成修正后的频域相位分布；将频域中生成的高斯分布作为新振幅分布，与修正后的相位组成新频域干涉信号，再进行逆傅里叶变换以获得修正后的时域信号；使用矩形窗口对修正后的时域白光干涉信号进行滤波，根据迭代标准决定是否继续修正。本发明通过理想振幅替代和相位迭代修正，解决了噪声对白光干涉信号的畸变影响，显著提升信号质量和修正能力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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