发明专利已授权

一种半导体温控设备及其控制方法

📄 申请号：CN202510286458.6 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-03-12

公开号

CN119806246B

公开日

2025-06-06

申请人

深圳联钜自控科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05D23_22

IPC 分类号

G05D23_22

技术画像

所属领域

温控设备半导体制造设备温度控制技术温控系统半导体温控温控设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 集成电路制造, 半导体工艺设备, 精密温控

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本申请涉及一种半导体温控设备及其控制方法。所述设备包括：温度检测模块，用于对半导体激光器的温度场进行多点检测得到多个温度测量值，以对半导体激光器的温度分布状况进行热场模拟计算得到温度场分布矩阵；热流分析模块，用于根据温度场分布矩阵对半导体激光器进行热流密度计算得到热流密度分布状况，以对热电制冷组件进行多通道脉宽调制处理得到温度调节驱动信号；闭环调控模块，用于根据温度调节驱动信号对热电制冷组件进行自适应调节处理生成温度调节反馈信号，以对热电制冷组件的驱动电流进行闭环调整，直至热电制冷组件基于已调整的驱动电流维持半导体激光器温度处于目标温度范围内。采用设备能够确保温度调控的动态均衡性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种壁挂式音响

当前第 / 件

一种智能离心式播种机

同领域国内专利 · IPC: (G05D23_22)

G05D23_00 G05D23_19 G05D23_20 G05D23_22 G05D23_24 G05D23_27 G05D23_275 G05D23_30 G05D23_32 覆盖9个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：86 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)