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本发明公开了一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，包括一个金属外壳，所述金属外壳的顶部有一顶部开口，底部有一开口朝向顶部的凹形底部固定筒，凹形底部固定筒的开口处设置有圆环状的压环；所述金属外壳的内部由顶部开口一侧向内依次设置有引出电极、栅网、收集极，以及将引出电极、栅网、收集极隔开并固定的多片绝缘限位板，所述多片绝缘限位板之间形成腔体。本分析仪装置采用了近于全金属外壳设计，能够最大限度屏蔽外部电磁场的影响，例如真空弧离子源放电时产生的脉冲高压电场有可能对等离子体的扩散、对离子流的测量产生影响，而本分析仪装置可尽量屏蔽外部电磁场，获得更加准确的测量结果。

📄 2020110150867 📂 H01J49_24 👤 桂林理工大学 📅 2020-09-24

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一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置及使用方法