实用新型已授权

分子泵冷却结构

📄 申请号：CN202320224986.5 📄 发布日：2026/04/24

著录项目信息

申请日

2023-02-16

公开号

CN219529341U

公开日

2023-08-15

申请人

上海熠阳实业有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F04D19_04

IPC 分类号

F04D19_04 , F04D29_056 , F04D29_58 , F04D29_64 ,

技术画像

所属领域

真空泵真空泵冷却结构热管理技术

应用场景

半导体制造设备, 真空镀膜设备, 真空热处理, 科研仪器, 光伏制造

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摘要

本实用新型属于分子泵技术领域，且公开了分子泵冷却结构，包括泵体，所述泵体内部的上方固定安装有护网，所述泵体的底部固定连接有连接座。本实用新型通过设置进水管、连通管和固定块，操作人员旋转螺纹盖，可以使得螺纹盖沿着进水管外表面的螺纹向外侧运动，并从进水管的外部脱离，然后操作人员通过进水管将冷却液通入至冷却块一的内部，从而可以对上轴体进行冷却降温效果，并使得冷却水通入至连通管的内部，并通过冷却槽内部的冰袋水对连通管内部的冷却水进行冷却降温，随后将冷却水通入至冷却块二的内部，并对下轴体进行冷却降温，最终可以通过排水管排出至外界，从而可以提高对上轴体的冷却效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便于更换的检漏仪离子源

当前第 / 件

一种电路板加工夹具

同领域国内专利 · IPC: (F04D19_04)

F04D19_00 F04D19_02 F04D19_04 覆盖3个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：95 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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