实用新型已授权

一种半导体晶片酸洗装置

Name: 一种半导体晶片酸洗装置
Brand: 江苏阀邦半导体材料科技有限公司
SKU: 2023232678766
Availability: InStock

📄 申请号：CN202323267876.6 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2023-12-01

公开号

CN221361503U

公开日

2024-07-19

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B3_08 , B08B3_14 , B08B1_12 , B08B1_32 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶片湿法清洗酸洗工艺

应用场景

半导体晶圆制造, 晶片表面清洗, 集成电路制程

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摘要

本实用新型公开了一种半导体晶片酸洗装置，包括箱体，所述箱体的底部安装有储液箱，所述储液箱的内部安装有喷洗机构，所述箱体的内部安装有升降板，所述升降板的上表面连接有驱动箱，所述驱动箱的内部安装有刷洗机构，所述驱动箱的上表面与箱体之间连接有升降机构。本实用新型的一种半导体晶片酸洗装置，通过循环泵抽取储液箱内部的酸液，再由送水管输送至冲洗喷头，对半导体晶片的表面进行冲洗，在进行冲洗的同时，通过启动驱动电机，带动螺纹杆转动，进而带动活动杆旋转，调节升降板的高度，启动清洗电机，带动驱动轴上的锥齿轮一转动，进而带动转轴底端的毛刷转动，可以同时对多个半导体晶片的表面进行刷洗，提高清洁效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN221361503U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电机壳铸造模具

当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：122 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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李** 企业¥-8万

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