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本实用新型提供一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，密封槽内部装配有O形密封圈，上固定壳内部上侧设置有密封座，密封座内部开设有定位凹槽，上固定壳内部设置有导向滑杆，导向滑杆内侧设置有支承板，导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，支承板上侧安装有定位凸块，定位凸块上端面设置有橡胶垫，导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板，该设计能够通过定位凸块与定位凹槽的匹配连接对进液管的开口位置进行密封，通过导向滑杆能够使定位凸块在逆流防止阀门内部进行上下移动，能够防止液体在阀门内部逆流。