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一种以砂纸为模板制造柔性电容式应变传感器的方法

Name: 一种以砂纸为模板制造柔性电容式应变传感器的方法
Brand: 山东科技大学
SKU: 201910956935X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910956935.X 📄 发布日：2026/08/19

著录项目信息

申请日

2019-10-10

公开号

CN110701992A

公开日

2020-01-17

申请人

山东科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B7_16

IPC 分类号

G01B7_16

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

可穿戴设备, 健康监测, 人机交互, 软体机器人

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摘要

本发明涉及柔性应变传感器技术领域，提供了一种以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法。本发明在硬质基板上制造敏感层和电极结构后再进行分离，可以获得较低的传感器厚度，以及具有更好的柔性，易于将传感器安装在关节、皮肤、骨骼等复杂曲面。可采用成熟的柔性电路板(FPCB)技术制造表面有电极的聚酰亚胺(PI)薄膜，电极阵列制备简单，重复性高、电阻小，且拉伸状态电学连接稳定；聚酰亚胺层被刻蚀后，仅保留较薄的金属电极贴合与敏感层表面，其微结构化产生的效果更加明显；敏感层可实现多层微结构累加，适合更宽的检测范围和应用环境。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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