发明专利 已授权

一种双出射方向的Micro-LED结构及其制备方法

📄 申请号:CN202411428799.4 📄 发布日:2026/08/18

著录项目信息

申请日
2024-10-14
公开号
CN119300570B
公开日
2025-11-21
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

微显示, 增强现实, 虚拟现实, 透明显示, 车载显示

摘要

本发明公开了一种双出射方向的Micro‑LED结构及其制备方法,其结构包括向上晶面为非极性面的N型GaN层、掩膜层、N型InxGa1‑xN三角岛、量子阱层、P型层、电极以及其它功能层。本发明利用选区外延并结合侧向外延获得具有高度对称性的N型InxGa1‑xN三角岛,并在三角岛的两个对称斜面上生长LED外延层,形成双出射方向的Micro‑LED结构,可作为近眼裸眼三维显示的基础显示单元;同时,在三角岛斜面上生长相互独立的外延LED结构,可以避免传统微加工技术对量子阱和P型层刻蚀损伤带来的不利影响,有效抑制每个发光单元的边缘效应,提高发光效率;以密堆积为基础排列发光单元,可以最大程度上有效利用外延片的面积,将经济效益最大化。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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