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发明专利
已授权
一种高集成度滤模器及其制作方法
📄 申请号:CN202311164716.0
📄 发布日:2026/08/18
著录项目信息
申请日
2023-09-11
公开号
CN117111215A
公开日
2023-11-24
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G02B6_14
IPC 分类号
G02B6_14
,
G02B6_122
,
G02B6_125
,
G02B6_132
,
G02B6_136
,
G02B27_00
,
技术画像
所属领域
其他分类
其他
应用场景
光通信, 数据中心光互联, 集成光路, 信号处理, 激光器模式控制
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摘要
本发明公开了一种高集成度滤模器及其制作方法,包括硅衬底、下包层和上包层,上下包层之间设有芯层,芯层包括输入波导、用于滤除基模并将高阶模转化成基模输出的第一模式路由区、用于传输第一模式路由区中单模波导的单模区、用于将单模区传输的基模转化成高阶模的第二模式路由区和输出波导。波导从入射端口输入通过左侧第一模式路由区域传播,基模TE0通过弯曲波导滤除;高阶模TE1通过左侧的第一模式路由区转换成基模TE0经中心直波导传播到右侧的第二模式路由区转化成高阶模TE1后从经输出波导的出射端口输出。该滤模器制作简单、尺寸小、性能优异、加工成本低、模式转化率高、抗串扰能力强,选择性的滤除光的部分模式,提高了光的通信质量和稳定性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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