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发明专利
已授权
一种干涉相位成像系统和方法及三维形态重建方法
📄 申请号:CN202210930288.7
📄 发布日:2026/08/17
著录项目信息
申请日
2022-08-03
公开号
CN115183675B
公开日
2025-07-29
申请人
江苏大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B11_00
IPC 分类号
G01B11_00
,
G01B11_25
,
技术画像
所属领域
干涉成像
干涉成像
三维形态重建
计算光学
应用场景
工业无损检测, 生物医学显微成像, 表面形貌测量, 科研仪器, 精密制造
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摘要
本发明公开了一种干涉相位成像系统和方法及三维形态重建方法,包括激光器、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、Wollaston棱镜、样品、孔径光阑、物镜、偏振片和CCD;本发明通过采用分光棱镜对激光束进行分光,结构简单,易于操作;通过调整全反射镜的角度来改变两束入射到样本的物光之间的夹角,可以得到不同角度入射光的相位图,灵活、适用性强;通过对称式的光路设计,使两束物光在传播路径上具有对称性,保证了本发明系统的稳定性;通过一个CCD就可以获取两幅同一样本不同入射方向上的两幅干涉图,结构简单,有利于设备小型化并降低成本。本发明公开的三维形态重建方法所需数据量小、计算简便,速度快,有利于实时成像。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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