发明专利已授权

一种薄膜的厚度测量系统

📄 申请号：CN202011024894.X 📄 发布日：2026/03/27

著录项目信息

申请日

2020-09-25

公开号

CN111928789B

公开日

2024-07-02

申请人

广东海洋大学,广东海洋大学深圳研究院,深圳和光新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06

技术画像

所属领域

薄膜厚度测量薄膜厚度测量光学检测自动测量系统

应用场景

半导体制造, 光学薄膜镀膜, 显示面板制造, 工业在线检测, 新材料研发

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摘要

本申请实施例提供一种薄膜的厚度测量系统，包括：探测光纤、第一光纤探头、第二光纤探头、光电转换器、解调放大器、光源、调制脉冲发生器、相敏检波器、选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块。其中，探测光纤包括发射光纤、接收光纤和探头光纤，相敏检波器具有两个输入端，相敏检波器的其中一个输入端依次连接所述调制脉冲发生器和所述光源，相敏检波器的另一个输入端依次连接解调放大器和光电转换器。相敏检波器的输出端依次连接所述选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块。上述系统使用光学测量的方法测量薄膜的厚度，不会对物体造成损伤，测量结果准确。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可调节式智能化LED照明路灯

当前第 / 件

一种护腰带生产用具有送料机构的锁边装置（有许可）

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