实用新型 已授权

一种循环防漏型电子级气动泵泵芯

📄 申请号:CN202322573269.6 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2023-09-21
公开号
CN221169870U
公开日
2024-06-18
申请人
江苏明力思半导体有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电子级化学品输送, 半导体湿法工艺, 光伏制造, 平板显示制造, 高纯流体输送

摘要

本实用新型公开了一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,属于气动泵技术领域。包括泵芯,所述泵芯侧壁开设有进液口和出液口,所述进液口处安装有进液管,所述出液口处安装有出液管,其中,所述进液管包括:进液部,所述进液部连通外部设备,所述进液部的出液端通过过渡部连通出液部,所述出液部的直径大于进液部的直径,降低出液部的流体阻力。本实用新型通过扩大进液口、出液口连接处的进液管、出液管的直径,来降低流体在进液管、出液管内的流阻,从而降低对进液管、出液管内壁的摩擦力,避免在长期使用过程中,进液管、出液管与泵芯本体连接处出现松动,发生漏液的情况,延长电子级气动泵泵芯的使用寿命。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN221169870U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2450.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F04B9_12)

¥2450.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:113 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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