实用新型已授权

一种电子级气动泵用逆止装置

📄 申请号：CN202322390396.2 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2023-09-04

公开号

CN220748500U

公开日

2024-04-09

申请人

江苏明力思半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F04B43_00

IPC 分类号

F04B43_00 , F04B53_16 , F04B53_10 , F04B13_00 , F04B15_04 ,

技术画像

所属领域

逆止阀逆止阀气动泵流体控制阀

应用场景

半导体制造, 高纯化学品输送, 湿法工艺设备, 电子级流体系统

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摘要

本实用新型公开了一种电子级气动泵用逆止装置，属于电子级气动泵技术领域。包括环形本体，并列排列安装在环形本体的端部的两组罩体，以及放置在罩体内的两组逆止部，所述环形本体端部同侧开设有两路通道，用于药液的流动，所述环形本体侧壁分别开设有进液道和出液道，进液道、出液道分别与通道对应连通，所述逆止部在外力的作用下，对罩体或环形本体封堵，阻止药液通过，形成一个进液通道，一个出液通道。本实用新型即通过药液的进出对逆止部形成推力，使逆止部在罩体内移动，即可实现药液的定量进入和流出，不仅结构简单，且具有高密封性，即可对药液流入流出限量，也降低了生产成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高密封性定量电子级气动泵

当前第 / 件

一种循环防漏型电子级气动泵泵芯

同领域国内专利 · IPC: (F04B43_00)

F04B43_00 F04B43_02 F04B43_04 F04B43_06 F04B43_09 F04B43_12 覆盖6个领域

¥2450.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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