实用新型已授权

一种高密封性定量电子级气动泵

📄 申请号：CN202322086292.2 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2023-08-04

公开号

CN220452185U

公开日

2024-02-06

申请人

江苏明力思半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F04B53_16

IPC 分类号

F04B53_16

技术画像

所属领域

气动泵气动泵流体输送设备密封技术

应用场景

半导体制造, 电子级化学品输送, 化工生产, 精细化工, 工业流体输送

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摘要

本实用新型公开了一种高密封性定量电子级气动泵，属于气动泵技术领域。包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括两组环形壳（1），其一端相互插接形成腔体用于放置泵芯；每组所述环形壳（1）的另一端分别安装支撑板（5），通过第一固定部（2）对支撑板（5）连接限位，两组封装壳（3），分别局部插入支撑板（5）远离环形壳（1）的端部，与支撑板（5）形成环状的重叠区；所述封装壳（3）与支撑板（5）重叠区面接触，并通过第二固定部（2）垂直贯穿插入重叠区。本实用新型有效提升泵的使用寿命，不仅提高了生产效率，同时也降低了生产成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体

当前第 / 件

一种电子级气动泵用逆止装置

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