实用新型 已授权

一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体

📄 申请号:CN202322178615.0 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2023-08-14
公开号
CN220539835U
公开日
2024-02-27
申请人
江苏明力思半导体有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电子级化学品输送, 半导体湿法清洗, 光伏制造, 显示面板生产, 高纯流体输送

摘要

本实用新型公开了一种具有良好密封的电子级气动泵芯主体,属于气动泵芯技术领域。包括芯座和两组风囊隔膜部,所述芯座的两端分别设有环形凹槽,所述风囊隔膜部位于芯座的两端,所述风囊隔膜部局部插入环形凹槽内,所述风囊隔膜部与芯座连接处形成预定角度的夹角,所述风囊隔膜部用于存放化学药液,其中,芯座与风囊隔膜部外侧的连接夹角处通过PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封。本实用新型粘胶在芯座端面与风囊隔膜部外壁形成的夹角处形成堆积,增加对芯座与囊隔膜部的胶合面积,提升芯座与风囊隔膜部之间的密封性,提高泵芯的使用寿命。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN220539835U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2450.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F04B53_00)

¥2450.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:117 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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