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一种用于电子级气动泵的外壳安装组件及其使用方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

📄 申请号：CN202111677078.3 📄 发布日：2026/07/14

著录项目信息

申请日

2021-12-31

公开号

CN114508485B

公开日

2024-03-26

申请人

江苏明力思半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F04B53_22

IPC 分类号

F04B53_22 , F04B53_16 , F16F15_08 ,

技术画像

所属领域

气动泵气动泵安装组件洁净室设备

应用场景

半导体制造, 化学工业, 食品加工, 医药生产, 无尘室

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摘要

本发明公开了一种用于电子级气动泵的外壳安装组件及其使用方法，包括泵体、包装机构、底板和移动机构，所述泵体左右两侧皆安装有铝盖，所述铝盖外部皆套装有便于调节间距尺寸的包装机构，所述包装机构下侧壁前后皆安装有底板，所述底板内部安装有具有缓冲效果的移动机构。通过包装机构便于对不同尺寸的气动泵进行外壳安装，通过移动机构更加稳定的对气动泵进行移动运输，提高了外壳安装组件的使用效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种防异物电子级气动泵排气口结构及其使用方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

当前第 / 件

一种电子级气动泵的内部连接组合工装及其安装方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

同领域国内专利 · IPC: (F04B53_22)

F04B53_00 F04B53_02 F04B53_04 F04B53_06 F04B53_08 F04B53_10 F04B53_14 F04B53_16 F04B53_18 F04B53_20 F04B53_22 覆盖11个领域

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