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一种防异物电子级气动泵排气口结构及其使用方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

📄 申请号：CN202411740067.9 📄 发布日：2026/07/14

著录项目信息

申请日

2024-11-29

公开号

CN119778232B

公开日

2026-01-13

申请人

江苏明力思半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F04B39_10

IPC 分类号

F04B39_10 , F04B39_00 , F04B39_16 , F04B45_04 ,

技术画像

所属领域

气动泵气动泵流体输送设备防异物结构

应用场景

半导体制造, 无尘室, 医药生产, 食品加工, 化学工业

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摘要

本发明涉及电子级气动泵技术领域，尤其为一种防异物电子级气动泵排气口结构及其使用方法，包括排气孔，排气孔开设在电子级气动泵中间下端，排气孔内部安装有排气阀，排气阀外侧安装有过滤消音单元；过滤消音单元包括过滤壳，过滤壳内侧安装有过滤柱，过滤壳侧面开设有通孔，过滤壳一端固定连接有连接内螺纹柱管，过滤壳外部通过连接块固定连接有消音柱壳；排气阀包括第一外螺纹柱管，第一外螺纹柱管一端固定连接有连接环板，本发明中，在气源不干净导致电子级气动泵内部隔膜损坏时，可以对气源杂质以及隔膜磨损产生的杂质进行收集，进而防止杂质进入到过滤消音单元内部，可以保证排气效率，以保证电子级气动泵的运行。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种防紫外阻燃耐切割保护膜

当前第 / 件

一种用于电子级气动泵的外壳安装组件及其使用方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

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¥12700.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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