发明专利 已授权

一种电子级气动泵的内部连接组合工装及其安装方法(适用于半导体,化学,食品,医药无尘室高精密制造)

📄 申请号:CN202111678029.1 📄 发布日:2026/07/14

著录项目信息

申请日
2021-12-31
公开号
CN114458877B
公开日
2023-11-28
申请人
江苏明力思半导体有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 无尘室高精密制造, 化工生产, 食品加工, 医药制造

摘要

本发明公开了一种电子级气动泵的内部连接组合工装及其安装方法;本包括外壳体、连接限位组件、可调节移动组件和减震组件,竖板的表面镶嵌连接上多个套环,即横杆、竖杆和套环形成一个整体,且横杆为多个,即可在套环中连接上连接杆,而在挡板的顶部开设有第二通孔,即连接杆插入到连接孔中时,其第一通孔和第二通孔对齐,即可在其中进行插入限位杆,通过限位杆对整体进行固定限位,增加连接性,而连接杆的一端连接有气动泵的内部结构,即可通过连接限位组件进行有效连接调节,继而电子级气动泵的内部连接组合工装其进行使用时对于内部的连接限位性较高,从而在进行内部连接时具有快速连接限定的功能,提高了内部的连接性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

¥12700.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:25 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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