发明专利已授权

一种晶棒直径测量装置及测量方法

📄 申请号：CN202310691653.8 📄 发布日：2026/07/07

著录项目信息

申请日

2023-06-13

公开号

CN116428998B

公开日

2023-08-22

申请人

山西东明光伏科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_08

IPC 分类号

G01B11_08 , G01B5_02 ,

技术画像

所属领域

尺寸测量尺寸测量晶体生长光学检测

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光伏制造, 晶体生长

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摘要

本申请公开了一种晶棒直径测量装置及测量方法，涉及单晶硅制备的技术领域，晶棒直径测量装置包括安装板、固定机构和测量机构，固定机构和测量机构均设置在安装板上；安装板上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽，若干组固定机构沿安装槽长度方向间隔排布在安装槽两侧，测量机构设置在安装槽两侧且与固定机构交替间隔排布。本申请中的晶棒直径测量方法包括：S1：将两个限位环向远离安装槽的方向转动并将安装板调整为竖直状态；S2：提拉晶棒至安装槽内，通过第一托板、第二托板和固定机构对晶棒进行固定；S3：将安装板调整为水平状态；S7：利用测距传感器对晶棒直径进行测量。本申请能够对从冷却炉中提拉出来的晶棒直径进行检测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥11000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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